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文章詳情

百級無塵室

日期:2019-08-28 17:13
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摘要:<p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 世界各国均有自定规格,但普遍依据美国联邦政府颁布的标准【Federal&nbsp;Standard&nbsp;(FS)&nbsp;209E,&nbsp;1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,则可假设尘粒的尺寸为0.5μm,例如,1级、10级、100级无尘室*大尘粒数目分别小于或等于1颗、10颗、100颗,如果尘粒尺寸不是0.5μm,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:10级在0.2μm(尘粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75颗/立方英尺),1级在0.1μm(尘粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35颗/立方英尺) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105120715_4980.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 風系統流程圖 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 系統采用的是全新風空調箱+FFU系統. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;1&gt;全新风空调箱结构 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> &lt;2&gt;FFU:(FAN&nbsp;FILTER&nbsp;UNIT)&nbsp;即风机和过滤器 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995% </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 水系統水系統流程圖(現場畫) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 冰水系統分爲一次側和二次側. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給幹盤管系統. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 一次側冰水和二次冰水爲兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 板式換熱器原理(現場畫圖). </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 幹盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進幹盤管的冰水溫度在12-14度. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 控制系統(DDC) </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 溫度:幹盤管系統控制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量. </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;"><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113128_3555.jpg" alt="" /><br /> </span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">1.</span><span style="text-indent:0pt;line-height:1.5;">亂流式</span> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將汙染空氣逐漸稀釋,來實現潔淨的。氣次數決定定義中的淨化級別(換氣次數越多,淨化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高無塵室等級。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易汙染制 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 程日本黄色视频在线播放。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 2.層流式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 层流式空气气流运动成一均匀之直线形,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需定较高之环境使用,一般其无尘室等级为Class&nbsp;1~100。其型式可分为二种: </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側汙染較嚴重。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在制程中或工作人員所産生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易爲作業狀態或作業人員所影響。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 3.複合式 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 复合式为将亂流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。百级无尘车间, </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑴洁净隧道(Clean&nbsp;Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域使洁净度等级提高至10级以上,可节省安装运转费用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 此型式需將作業人員之工作區與日本黄色视频在线播放和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> 洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充容易;&nbsp;B.维修设备时可在维修区轻易执行。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑵洁净管道(Clean&nbsp;Tube):将日本黄色视频在线播放流程经过的自动日本黄色视频在线播放线包围并净化处理,将洁净度等级提至100级以上。因日本黄色视频在线播放和作业员及发尘环境相互隔离,少量之送风即可得到良好之洁净度,可节省能源,不需人工的自动化日本黄色视频在线播放线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> ⑶并装局部无尘室(Clean&nbsp;Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之日本黄色视频在线播放制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为日本黄色视频在线播放之用;潔淨工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。 </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;text-indent:21pt;background-color:#FFFFFF;"> <br /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> <img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113231_1976.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113243_0185.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113257_7642.jpg" alt="" /><img src="http://zt.yizimg.com/comfolder/200011990/image/201511/20151105113320_0359.jpg" alt="" /> </p> <p class="MsoNormal" style="color:#3F3F3F;font-family:Simsun;line-height:22px;text-indent:0pt;white-space:normal;background-color:#FFFFFF;"> &nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;&nbsp;欢迎新老顾客来我司参观洽谈..... </p>

世界各國均有自定規格,但普遍依據美國聯邦政府頒布的標准【Federal Standard (FS) 209E, 1992】,可將無塵室分爲六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級,如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述,則可假設塵粒的尺寸爲0.5μm,例如,1級、10級、100級無塵室*大塵粒數目分別小于或等于1顆、10顆、100顆,如果塵粒尺寸不是0.5μm,無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如:10級在0.2μm(塵粒尺寸在0.2μm或更大下,密度不大于75顆/立方英尺),1級在0.1μm(塵粒尺寸在0.1μm或更大下,密度不大于35顆/立方英尺)

風系統流程圖

系統采用的是全新風空調箱+FFU系統.

<1>全新風空調箱結構

<2>FFU:(FAN FILTER UNIT) 即風機和過濾器

千級區過濾器采用HEPA,過濾效率99.997%,百級區過濾器采用ULPA,過濾效率99.9995%

水系統水系統流程圖(現場畫)

冰水系統分爲一次側和二次側.

一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風機盤管,二次側冰水12-17度供給幹盤管系統.

一次側冰水和二次冰水爲兩個不同的回路,之間由板式換熱器連接.

板式換熱器原理(現場畫圖).

幹盤管:不結露的盤管,因無塵室溫度在22度,其露點溫度12度左右,故7度冰水不能直接進入無塵室,所以進幹盤管的冰水溫度在12-14度.

控制系統(DDC)

溫度:幹盤管系統控制

濕度:空調箱調節通過感測的信號,控制三通閥開度來調節空調箱盤管進水量

正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進入室內的新風量.


1.亂流式

空氣由空調箱經風管與無塵室內之空氣過濾器(HEPA)進入無塵室,並由無塵室兩側隔間牆板或高架地板回風。氣流非直線型運動而呈不規則之亂流或渦流狀態。亂流無塵室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣,將汙染空氣逐漸稀釋,來實現潔淨的。氣次數決定定義中的淨化級別(換氣次數越多,淨化級別越高)。此型式適用于無塵室等級1,000-100,000級。

優點:構造簡單、系統建造成本,無塵室之擴充比較容易,在某些特殊用途場所,可並用無塵工作台,提高無塵室等級。

缺點:亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易汙染制

程日本黄色视频在线播放。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔淨度,往往須耗時相當長一段時間。

2.層流式

層流式空氣氣流運動成一均勻之直線形,並由高架地板或兩側隔牆板回風,此型式適用于無塵室等級需定較高之環境使用,一般其無塵室等級爲Class 1~100。其型式可分爲二種:

⑴水平層流式:水平式空氣自過濾器單方向吹出,由對邊牆壁之回風系統回風,塵埃隨風向排出室外,一般在下流側汙染較嚴重。

優點:構造簡單,運轉後短時間內即可變成穩定。

⑵垂直層流式:房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋,空氣由上往下吹,可得較高之潔淨度,在制程中或工作人員所産生的塵埃可快速排出室外而不會影響其它工作區域。

優點:管理容易,運轉開始短時間內即可達穩定狀態,不易爲作業狀態或作業人員所影響。

缺點:構造費用較高,彈性運用空間困難,天花板之吊架相當占空間,維修更換過濾器較麻煩。

3.複合式

复合式为将亂流式及层流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气。百级无尘车间,

⑴潔淨隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA過濾器將制程區域或工作區域使潔淨度等級提高至10級以上,可節省安裝運轉費用。

此型式需將作業人員之工作區與日本黄色视频在线播放和機器維修予以隔離,以避免機器維修時影響了工作及品質,ULSI制程大都采用此種型式。

潔淨隧道另有二項優點:A.彈性擴充容易; B.維修設備時可在維修區輕易執行。

⑵潔淨管道(Clean Tube):將日本黄色视频在线播放流程經過的自動生産線包圍並淨化處理,將潔淨度等級提至100級以上。因日本黄色视频在线播放和作業員及發塵環境相互隔離,少量之送風即可得到良好之潔淨度,可節省能源,不需人工的自動化生産線爲適宜使用。藥品、食品業界及半導體業界均適用。

⑶并装局部无尘室(Clean Spot):将无尘室等级10,000~100,000之乱流无尘室内之日本黄色视频在线播放制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上,以为日本黄色视频在线播放之用;潔淨工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。


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